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第1160章 难如登天 (1/11)

未来光子学实验室。

DUV深紫外光源系统,通电测试达标。

高精度物镜模组,装配完成,透光率测试达标。

两大核心部件齐活。

光刻机原型机,进入总装阶段。

钱院士和尤里·伊万诺夫,两人并排站着。

这两人,一个是国内光学泰斗,一个是前苏联科学狂人。

现在,他们是这台机器的联合总设计师。

图纸堆得像小山。

前苏联的暴力美学光学理论。

从美国弄来的准分子激光器。

德国朔特光学的百年镜片工艺。

加上国内老军工的精密机械底子。

四路人马的技术,全要捏合在一台机器里。

这活儿,难如登天。

总装车间,设在地下二层。

最高级别的超净间。

灰尘按颗粒算。

进去一趟,得换三套防护服,过两道风淋室。

林峰带头,德米特里跟在后面。