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第227章 六百亿大订单! (1/7)
在众人的目光中,演示正式开始。
只见一条精密的机械臂,从机身侧面平稳地伸出。
精准地从晶圆盒中夹起一片薄如蝉翼的12英寸硅晶圆。
然后悄无声息地将其放置在工作台上。
“第一步,装载晶圆并进行预对准。”陆友的声音平静地响起。
随后工作台高速旋转起来,一滴胶状的液体精准地滴落在晶圆中心。
随着旋转均匀地铺展开来,形成一层薄而均匀的膜。
“第二步,涂覆光刻胶。”
紧接着,承载着晶圆的工作台瞬间移动到了巨大的曝光腔体内。
腔门关闭,整个房间的光线都暗淡了下来。
启明一号的机身上亮起了一排排指示灯。
虽然看不到内部的景象,但所有人都知道,最内核的步骤——光刻曝光,正在进行。
大佬们屏住呼吸,眼睛一眨不眨地盯着机身。
尽管什么都看不到,但他们能感觉到,一种无形的力量正在那腔体内创造着奇迹。
仅仅几十秒后,嗡嗡声停止。
腔门开启,工作台再次以惊人的速度移出。
“第三步,曝光完成。”
“接下来是后烘、显影、蚀刻、去胶等一系列自动化流程。”陆友指着晶圆在机体内部的不同模块间快速传递的过程。
整个过程没有一丝多馀的动作,没有一点点噪音。
几分钟后,那片晶圆再次被机械臂平稳地送到成品检测台上,所有人都下意识地向前凑了一步。